氟橡膠的o型圈是由TFE(主鏈)、PMVE(支鏈)和架橋部組成,它既具有與PTFE相同的耐高溫、耐化學腐蝕(耐化學腐蝕),又具有彈性,在300℃下壓縮變形率只有50%。普通全氟橡膠在-25℃~+240℃的條件下工作,耐高溫Kalrez7075的溫度范圍為-25~+240℃,當溫度為316℃,或343℃間歇的高溫環境中,Kalrez零件就不會發生硬化和脆化,從而導致密封失效,而且Kalrez在直接與被腐蝕的液體接觸后仍然保持了彈性和彈性。事實上,卡雷茲的熱穩定性往往優于液體本身。全氟橡膠也有極好的氣密性(耐真空度高達1.33X10-7-1.33X10-8pa)、高清晰潔凈度、耐離子等特點,在半導體工業中應用非常廣泛。
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